機械加工生產中，脫脂硅烷作為常見的金屬保護工藝，必然會產生相應的廢水，該廢水無機鹽含量高，污染嚴重，通常是含少量脫脂液、硅烷處理劑等的清洗廢水，廢水主要含有機物、懸浮物、少量氟化物及重金屬，污水偏堿性，對環境產生一定的危害。
硅烷廢水處理設備取代了傳統工藝中的二沉池，它可以高效地進行固液分離，得到直接使用的穩定中水。又可在生物池內維持高濃度的微生物量，工藝剩余污泥少，有效地去除氨氮，出水懸浮物和濁度接近于零，出水中細菌和病毒被大幅度去除。
用戶會根據硅烷廢水的成分，實際情況，選取合適工藝，廢水處理設備近*一般分為預處理單元、濃縮減量單元、固化單元，不同的單元，所采用的工藝不同，硅烷廢水處理設備也有不同。
1、預處理單元工藝中，微波多效過濾系統越來越普及，其突破傳統過濾沉淀工藝的限制，將沉淀循環、加藥攪拌等環節合為一體，保證了對濁度、SS的有效去除，同時可針對性降低TOC、色度、金屬、硬度含量。
2、濃縮減量單元，主要含膜法和熱法，工藝比較多。其中膜法濃縮工藝中，應用較多的是極限分離系統，此系統專門針對高硬度、高COD、高TDS廢水而研發，主要以錯流過濾制取純水，被處理廢水以一定的速度流過膜面，透過液從垂直方向透過膜，大部分截留物被濃縮液夾帶出膜組件。此方式大大減少膜面濃度極化層的厚度，可以有效降低膜污染。
3、固化單元，應用較多的是蒸發系統、MVR等。其中，蒸發系統相對成熟，在廢水近*系統中作為末端蒸發工藝使用較多。
硅烷廢水處理設備的作用主要是將硅烷廢水進行近*，通過優化硅烷廢水的處理工藝，將硅烷廢水有效處理，保證整套廢水的正常運行和出水水質。
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